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SW1-N1/SW1-N2愛發(fā)科Gatch系列皮拉尼真空計

發(fā)布時間: 2015-12-29  點擊次數(shù): 1634次

本真空計屬皮拉尼真空計,可測量的壓力范圍從大氣壓至5×10-2Pa。本真空計從控制面板上去除了操作及顯示部分,只保留了必要的功能,從而降低了價格,使外形更小巧,而且已通過CE認證。

用途
可用于半導(dǎo)體、電子原件為首的各種制造裝置的低真空領(lǐng)域的過程管理;
可用于真空爐為首的各種產(chǎn)業(yè)機器的低真空領(lǐng)域的過程管理;
可用于連續(xù)性、多樣性工作室的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的過程管理。

特長
可測量范圍廣:從大氣壓至5×10-2Pa
傳感器與控制部一體化:節(jié)省空間、降低能耗

 

名稱

 皮拉尼真空計

 機型名稱

 標(biāo)準(zhǔn)型

 串行通信型

 Model名

 SW1-N1

 SW1-N2

 可連接規(guī)管

 1個 

 適用規(guī)管

 SWP-16-N

 可測量壓力范圍

 5.0×10-2~1.0×10+5Pa

 測量精度※1(N2)

 1×10-1Pa~1×10+4Pa

 : ±10%

 

 1×10+4Pa~1×10+5Pa、5×10-2Pa~1×10-1Pa

 : ±20%

 反復(fù)性

 1×10-1Pa~1×10+4Pa

 : ± 2%

 采樣時間

 50ms 5次的移動平均處理

 測量值的輸出

 輸出電壓 DC 0~10V

 壓力顯示 1.7V~8.0V  LOG輸出 1V/位

 

 

 

 

 更新時間

 50ms

 分辨率

 4mV

 輸出電阻

 10Ω

 輸出電阻

 10Ω

 

 串行通信

 

 RS-485/RS-232C

 

 

 通信速度

 9600/19200/38400bps

 記憶功能

 通過EEPROM備份

 LED顯示

 POWER/ERROR: 電源、出錯LED

 

 SET-1: 設(shè)定點1 LED

 

 

 SET-2: 設(shè)定點?2 LED

 IP保護等級

 IP30

 主體重量

 控制器:約 105g   規(guī)管(SWP-16):約  45g

 外形尺寸

 70×46×28 (控制器)

 

聯(lián)


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